Evaluation of silicon nitride and silicon carbide as efficient polysilicon grain-growth inhibitors: Fid-Bau Portal

Evaluation of silicon nitride and silicon carbide as efficient polysilicon grain-growth inhibitors

Cha, C. L. / Chor, E. F. / Jia, Y. M. / Bourdillon, A. J. / Gong, H. / Pan, J. S. / Zhang, A. Q. / Tang, S. K. / Boothroyd, C. B.

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Titel:

Evaluation of silicon nitride and silicon carbide as efficient polysilicon grain-growth inhibitors

Beteiligte:

Cha, C. L. (Autor:in) / Chor, E. F. (Autor:in) / Jia, Y. M. (Autor:in) / Bourdillon, A. J. (Autor:in) / Gong, H. (Autor:in) / Pan, J. S. (Autor:in) / Zhang, A. Q. (Autor:in) / Tang, S. K. (Autor:in) / Boothroyd, C. B. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 18 ; 1427-1432

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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