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    Titel:

    Controlled Growth of Yttrium Oxysulphide Thin Films by Atomic Layer Deposition

    Beteiligte:

    Kukli, K. (Autor:in) / Peussa, M. (Autor:in) / Johansson, L.-S. (Autor:in) / Nykaenen, E. (Autor:in) / Niinistoe, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 315/317 ; 216-221

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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