Role of moisture for absorption mechanisms of organic compounds on si wafer surfaces: Gaseous organic compounds in cleanroom air: Fid-Bau Portal

Role of moisture for absorption mechanisms of organic compounds on si wafer surfaces: Gaseous organic compounds in cleanroom air

Kagi, N. / Fujii, S. / Yuasa, K. / Tanaka, K.

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Titel:

Role of moisture for absorption mechanisms of organic compounds on si wafer surfaces: Gaseous organic compounds in cleanroom air

Beteiligte:

Kagi, N. (Autor:in) / Fujii, S. (Autor:in) / Yuasa, K. (Autor:in) / Tanaka, K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF ARCHITECTURE PLANNING AND ENVIRONMENTAL ENGINEERING ; 53-58

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0910-8017

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 720

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