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Theoretical study on adsorption mechanisms of gaseous matter from cleanroom air onto silicon wafer surface

Kagi, N. / Fujii, S.

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Titel:

Theoretical study on adsorption mechanisms of gaseous matter from cleanroom air onto silicon wafer surface

Beteiligte:

Kagi, N. (Autor:in) / Fujii, S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF ARCHITECTURE PLANNING AND ENVIRONMENTAL ENGINEERING ; 67-72

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0910-8017

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 720

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