Atomic layer epitaxy of AlP and (AlP)"n(GaP)"n superlattice using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source: Fid-Bau Portal

Atomic layer epitaxy of AlP and (AlP)"n(GaP)"n superlattice using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source

Hirose, S. / Yamaura, M. / Munekata, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Atomic layer epitaxy of AlP and (AlP)"n(GaP)"n superlattice using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source

Hirose, S. / Yamaura, M. / Munekata, H.

Atomic layer epitaxy of AlP and (AlP)"n(GaP)"n superlattice using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source

Hirose, S. / Yamaura, M. / Munekata, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Atomic layer epitaxy of AlP and (AlP)"n(GaP)"n superlattice using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source

Beteiligte:

Hirose, S. (Autor:in) / Yamaura, M. (Autor:in) / Munekata, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 150 ; 89-94

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Neo, Y. / Niwano, M. / Mimura, H. et al. | British Library Online Contents | 1999

Silane gas-source atomic layer epitaxy

Hirose, F. / Suemitsu, M. / Miyamoto, N. | British Library Online Contents | 1992

AlAs layers with low carbon content grown by ALE using ethyldimethylamine alane as a new aluminum source

Kano, N. / Hirose, S. / Hara, K. et al. | British Library Online Contents | 1994

Quantum wire structures incorporating(GaAs)~m(GaP)~n short-period superlattice fabricated by atomic layer epitaxy

Isshiki, H. / Aoyagi, Y. / Sugano, T. | British Library Online Contents | 1997

Atomic layer epitaxy of germanium

Sugahara, S. / Kitamura, T. / Imai, S. et al. | British Library Online Contents | 1994

Nach oben