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Investigations of Ta film resistors on chemically vapor deposited diamond plates

Zhu, X.-D. / Wang, H. / Zhan, R.-J. / Zhou, H.-Y.

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Titel:

Investigations of Ta film resistors on chemically vapor deposited diamond plates

Beteiligte:

Zhu, X.-D. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Zhan, R.-J. (Autor:in) / Zhou, H.-Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 153 ; 19-22

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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