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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Hydrogen plasma irradiation and postannealing effects on crystalline quality at vicinal Si (100) surface

    Beteiligte:

    Asai, K. (Autor:in) / Komachi, K. (Autor:in) / Kamei, K. (Autor:in) / Katahama, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 153 ; 134-142

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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