Microcrystalline silicon thin film transistors obtained by hot-wire CVD: Fid-Bau Portal

Microcrystalline silicon thin film transistors obtained by hot-wire CVD

Puigdollers, J. / Dosev, D. / Orpella, A. / Voz, C. / Peiro, D. / Bertomeu, J. / Marsal, L.F. / Pallares, J. / Andreu, J. / Alcubilla, R.

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Puigdollers, J. / Dosev, D. / Orpella, A. / Voz, C. / Peiro, D. / Bertomeu, J. / Marsal, L.F. / Pallares, J. / Andreu, J. / Alcubilla, R.

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Titel:

Microcrystalline silicon thin film transistors obtained by hot-wire CVD

Beteiligte:

Puigdollers, J. (Autor:in) / Dosev, D. (Autor:in) / Orpella, A. (Autor:in) / Voz, C. (Autor:in) / Peiro, D. (Autor:in) / Bertomeu, J. (Autor:in) / Marsal, L.F. (Autor:in) / Pallares, J. (Autor:in) / Andreu, J. (Autor:in) / Alcubilla, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 69-70 ; 526 - 529

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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