The Interface of Sputter-Deposited TiNi Thin Film on (100) Si Wafer: Fid-Bau Portal

The Interface of Sputter-Deposited TiNi Thin Film on (100) Si Wafer

Wu, S. K. / Wang, J. Y. / Wu, I. J. / Lin, H. C.

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Titel:

The Interface of Sputter-Deposited TiNi Thin Film on (100) Si Wafer

Beteiligte:

Wu, S. K. (Autor:in) / Wang, J. Y. (Autor:in) / Wu, I. J. (Autor:in) / Lin, H. C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 327/328 ; 127-130

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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