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TiNi Thin Films for Microactuators and Microdevices: Sputter Deposition and Processing Techniques

Martynov, V.

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Titel:

TiNi Thin Films for Microactuators and Microdevices: Sputter Deposition and Processing Techniques

Beteiligte:

Martynov, V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 426/432 ; 3475-3480

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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