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Interface structure of sputter deposited CNx film on silicon substrate

Fu, T. / Zheng, Y. / Shen, Y. G.

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Titel:

Interface structure of sputter deposited CNx film on silicon substrate

Beteiligte:

Fu, T. (Autor:in) / Zheng, Y. (Autor:in) / Shen, Y. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 62 ; 2685-2687

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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