GISAXS study of defects in He implanted silicon: Fid-Bau Portal

GISAXS study of defects in He implanted silicon

Dubcek, P. / Milat, O. / Pivac, B. / Bernstorff, S. / Amenitsch, H. / Tonini, R. / Corni, F. / Ottaviani, G.

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Titel:

GISAXS study of defects in He implanted silicon

Beteiligte:

Dubcek, P. (Autor:in) / Milat, O. (Autor:in) / Pivac, B. (Autor:in) / Bernstorff, S. (Autor:in) / Amenitsch, H. (Autor:in) / Tonini, R. (Autor:in) / Corni, F. (Autor:in) / Ottaviani, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 71 ; 82 - 86

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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