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    Titel:

    Oxygen-related defects in the top silicon layer of SIMOX; the effect of thermal treatments

    Beteiligte:

    Rivera, A. (Autor:in) / de Nijs, J. M. (Autor:in) / Balk, P. (Autor:in) / van Veen, A. (Autor:in) / Schut, H. (Autor:in) / Alkemade, P. F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 73 ; 77 - 81

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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