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Femtosecond pulse laser processing of TiN on silicon

Bonse, J. / Rudolph, P. / Kruger, J. / Baudach, S. / Kautek, W.

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Titel:

Femtosecond pulse laser processing of TiN on silicon

Beteiligte:

Bonse, J. (Autor:in) / Rudolph, P. (Autor:in) / Kruger, J. (Autor:in) / Baudach, S. (Autor:in) / Kautek, W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 154-155 ; 659-663

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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