Effect of Laser Parameters in the Micromachining of Silicon by Femtosecond Pulse Laser: Fid-Bau Portal

Effect of Laser Parameters in the Micromachining of Silicon by Femtosecond Pulse Laser

Geng, N. / Fu, X. / Li, H. X. / Ni, X. C. / Hu, X. T.

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Titel:

Effect of Laser Parameters in the Micromachining of Silicon by Femtosecond Pulse Laser

Beteiligte:

Geng, N. (Autor:in) / Fu, X. (Autor:in) / Li, H. X. (Autor:in) / Ni, X. C. (Autor:in) / Hu, X. T. (Autor:in) / Dong, S. / Yao, Y.

Erschienen in:

Progress of Precision Engineering and Nano Technology Selected Papers from Proceeding of the First International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia November 12-14, 2005, Shenzhen, China ; 136-140

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 339

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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