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    Titel:

    Process monitoring of semiconductor thin films and interfaces by spectroellipsometry

    Beteiligte:

    Brenot, R. (Autor:in) / Drevillon, B. (Autor:in) / Bulkin, P. (Autor:in) / Roca i Cabarrocas, P. (Autor:in) / Vanderhaghen, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 154-155 ; 283-290

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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