Nitride film deposition by femtosecond and nanosecond laser ablation in low-pressure nitrogen discharge gas: Fid-Bau Portal

Nitride film deposition by femtosecond and nanosecond laser ablation in low-pressure nitrogen discharge gas

Zhang, Z. / VanRompay, P. A. / Nees, J. A. / Clarke, R. / Pan, X. / Pronko, P. P.

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Titel:

Nitride film deposition by femtosecond and nanosecond laser ablation in low-pressure nitrogen discharge gas

Beteiligte:

Zhang, Z. (Autor:in) / VanRompay, P. A. (Autor:in) / Nees, J. A. (Autor:in) / Clarke, R. (Autor:in) / Pan, X. (Autor:in) / Pronko, P. P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 154-155 ; 165-171

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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