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    Dokumentinformationen
    Titel:

    High Concentration Doping of 6H-SiC by Ion Implantation: Flash versus Furnace Annealing

    Beteiligte:

    Panknin, D. (Autor:in) / Wirth, H. (Autor:in) / Anwand, W. (Autor:in) / Brauer, G. (Autor:in) / Skorupa, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 877-880

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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