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    Titel:

    Ultra-shallow junctions produced by plasma doping and flash lamp annealing

    Beteiligte:

    Skorupa, W. (Autor:in) / Yankov, R. A. (Autor:in) / Anwand, W. (Autor:in) / Voelskow, M. (Autor:in) / Gebel, T. (Autor:in) / Downey, D. F. (Autor:in) / Arevalo, E. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 358-361

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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