Study of Nitrogen Incorporation in 6H-SiC Single Crystals Grown by PVT: Fid-Bau Portal

Study of Nitrogen Incorporation in 6H-SiC Single Crystals Grown by PVT

Schulz, D. / Irmscher, K. / Dolle, J. / Eiserbeck, W. / Muller, T. / Rost, H.-J. / Siche, D. / Wagner, G. / Wollweber, J.

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Titel:

Study of Nitrogen Incorporation in 6H-SiC Single Crystals Grown by PVT

Beteiligte:

Schulz, D. (Autor:in) / Irmscher, K. (Autor:in) / Dolle, J. (Autor:in) / Eiserbeck, W. (Autor:in) / Muller, T. (Autor:in) / Rost, H.-J. (Autor:in) / Siche, D. (Autor:in) / Wagner, G. (Autor:in) / Wollweber, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 87-90

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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