Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Fast SiC Epitaxial Growth in a Chimney CVD Reactor and HT CVD Crystal Growth Developments
Fast SiC Epitaxial Growth in a Chimney CVD Reactor and HT CVD Crystal Growth Developments
Fast SiC Epitaxial Growth in a Chimney CVD Reactor and HT CVD Crystal Growth Developments
Ellison, A. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Magnusson, W. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Wahab, Q. (Autor:in) / Bergman, J. P. (Autor:in) / Hemmingsson, C. (Autor:in) / Son, N. T. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 131-136
01.01.2000
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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Fast Epitaxial Growth of 4H-SiC by Chimney-Type Hot-Wall CVD
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Epitaxial growth of polyimide on single-crystal surfaces
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