Morphology Control for Growth of Thick Epitaxial 4H SiC Layers: Fid-Bau Portal

Morphology Control for Growth of Thick Epitaxial 4H SiC Layers

Zhang, J. / Ellison, A. / Janzen, E.

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Titel:

Morphology Control for Growth of Thick Epitaxial 4H SiC Layers

Beteiligte:

Zhang, J. (Autor:in) / Ellison, A. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 137-140

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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