X-Ray Characterization of 3 Inch Diameter 4H and 6H-SiC Experimental Wafers: Fid-Bau Portal

X-Ray Characterization of 3 Inch Diameter 4H and 6H-SiC Experimental Wafers

Kuhr, T. A. / Vetter, W. M. / Dudley, M. / Skowronski, M.

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Titel:

X-Ray Characterization of 3 Inch Diameter 4H and 6H-SiC Experimental Wafers

Beteiligte:

Kuhr, T. A. (Autor:in) / Vetter, W. M. (Autor:in) / Dudley, M. (Autor:in) / Skowronski, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 473-476

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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