Optical Characterization of Lattice Damage and Recovery in Ion-Implanted and Pulsed Excimer Laser Irradiated 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Optical Characterization of Lattice Damage and Recovery in Ion-Implanted and Pulsed Excimer Laser Irradiated 4H-SiC

Sands, D. / Key, P. H. / Schlaf, M. / Walton, C. D. / Anthony, C. J. / Uren, M. J.

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Titel:

Optical Characterization of Lattice Damage and Recovery in Ion-Implanted and Pulsed Excimer Laser Irradiated 4H-SiC

Beteiligte:

Sands, D. (Autor:in) / Key, P. H. (Autor:in) / Schlaf, M. (Autor:in) / Walton, C. D. (Autor:in) / Anthony, C. J. (Autor:in) / Uren, M. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 655-658

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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