Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si: Fid-Bau Portal

Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si

Monakhov, E. V. / Svensson, B. G. / Linnarsson, M. K. / La Magna, A. / Italia, M. / Privitera, V. / Fortunato, G. / Cuscuna, M. / Mariucci, L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si

Monakhov, E. V. / Svensson, B. G. / Linnarsson, M. K. / La Magna, A. / Italia, M. / Privitera, V. / Fortunato, G. / Cuscuna, M. / Mariucci, L.

Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si

Monakhov, E. V. / Svensson, B. G. / Linnarsson, M. K. / La Magna, A. / Italia, M. / Privitera, V. / Fortunato, G. / Cuscuna, M. / Mariucci, L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Excimer laser annealing of B and BF2 implanted Si

Beteiligte:

Monakhov, E. V. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / La Magna, A. (Autor:in) / Italia, M. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Fortunato, G. (Autor:in) / Cuscuna, M. (Autor:in) / Mariucci, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 124-125 ; 232-234

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Hishida, Y. / Watanabe, M. / Nakashima, K. et al. | British Library Online Contents | 2000

Characterization of Excimer Laser Annealing of Arsenic Implanted Silicon

Akane, T. / Mastumoto, S. / Mizushima, I. | British Library Online Contents | 1993

Low-Temperature Activation of Ion-Implanted Dopants in 4H-SiC by Excimer Laser Annealing

Tanaka, Y. / Tanoue, H. / Arai, K. | British Library Online Contents | 2002

Electrical Activation of Ion-Implanted Nitrogen and Aluminum in 4H-SiC by Excimer Laser Annealing

Tanaka, Y. / Tanoue, H. / Arai, K. | British Library Online Contents | 2003

Reduction of the size of the implanted silver nanoparticles in float glass during excimer laser annealing

Stepanov, A. L. / Hole, D. E. / Bukharaev, A. A. et al. | British Library Online Contents | 1998

Nach oben