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    Titel:

    Comparison study of physical vapor-deposited and chemical vapor-deposited titanium nitride thin films using X-ray photoelectron spectroscopy

    Beteiligte:

    Zhao, J. (Autor:in) / Garza, E. G. (Autor:in) / Lam, K. (Autor:in) / Jones, C. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 158 ; 246-251

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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