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    Titel:

    Microfabrication: LIGA-X and applications

    Beteiligte:

    Kupka, R. K. (Autor:in) / Bouamrane, F. (Autor:in) / Cremers, C. (Autor:in) / Megtert, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 164 ; 97-110

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    14 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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