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Tribological Coatings for LIGA MEMS

Prasad, S. / Christenson, T. / Dugger, M.

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Titel:

Tribological Coatings for LIGA MEMS

Beteiligte:

Prasad, S. (Autor:in) / Christenson, T. (Autor:in) / Dugger, M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS AND PROCESSES ; 160 ; 30-34

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0882-7958

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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