Barrier layer model determined by XPS data for tunneling current reductions at monolayer nitrided Si-SiO2 interfaces: Fid-Bau Portal

Barrier layer model determined by XPS data for tunneling current reductions at monolayer nitrided Si-SiO2 interfaces

Niimi, H. / Yang, H. / Lucovsky, G. / Keister, J. W. / Rowe, J. E.

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Titel:

Barrier layer model determined by XPS data for tunneling current reductions at monolayer nitrided Si-SiO2 interfaces

Beteiligte:

Niimi, H. (Autor:in) / Yang, H. (Autor:in) / Lucovsky, G. (Autor:in) / Keister, J. W. (Autor:in) / Rowe, J. E. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 166 ; 485-491

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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