Low Dielectric Constant Materials for ULSI Interconnects: Fid-Bau Portal

Low Dielectric Constant Materials for ULSI Interconnects

Morgen, M. / Ryan, E. T. / Zhao, J.-H. / Hu, C. / Cho, T. / Ho, P. S.

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Titel:

Low Dielectric Constant Materials for ULSI Interconnects

Beteiligte:

Morgen, M. (Autor:in) / Ryan, E. T. (Autor:in) / Zhao, J.-H. (Autor:in) / Hu, C. (Autor:in) / Cho, T. (Autor:in) / Ho, P. S. (Autor:in)

Erschienen in:

ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE ; 30 ; 645-680

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

36 pages

ISSN:

0084-6600

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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