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Technological processes and modeling of opto-electro-mechanical microstructures

Muller, R. / Moagar Poladian, V. / Pavelescu, I. / Manea, E. / Cristea, D. / Obreja, P.

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Titel:

Technological processes and modeling of opto-electro-mechanical microstructures

Beteiligte:

Muller, R. (Autor:in) / Moagar Poladian, V. (Autor:in) / Pavelescu, I. (Autor:in) / Manea, E. (Autor:in) / Cristea, D. (Autor:in) / Obreja, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 3 ; 427-431

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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