How to Grow Unstrained 3C-SiC Heteroepitaxial Layers on Si (100) Substrates: Fid-Bau Portal

How to Grow Unstrained 3C-SiC Heteroepitaxial Layers on Si (100) Substrates

Chassagne, T. / Ferro, G. / Gourbeyre, C. / Le Berre, M. / Barbier, D. / Monteil, Y.

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Titel:

How to Grow Unstrained 3C-SiC Heteroepitaxial Layers on Si (100) Substrates

Beteiligte:

Chassagne, T. (Autor:in) / Ferro, G. (Autor:in) / Gourbeyre, C. (Autor:in) / Le Berre, M. (Autor:in) / Barbier, D. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 155-158

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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