High-Resolution XRD Evaluation of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers: Fid-Bau Portal

High-Resolution XRD Evaluation of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers

Jacobsson, H. / Yakimova, R. / Syvajarvi, M. / Birch, J. / Tuomi, T. / Janzen, E.

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Titel:

High-Resolution XRD Evaluation of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers

Beteiligte:

Jacobsson, H. (Autor:in) / Yakimova, R. (Autor:in) / Syvajarvi, M. (Autor:in) / Birch, J. (Autor:in) / Tuomi, T. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 291-294

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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