Young's modulus measurement of nickel silicide film on crystal silicon by a surface profiler: Fid-Bau Portal

Young's modulus measurement of nickel silicide film on crystal silicon by a surface profiler

Qin, M. / Poon, V. M. C.

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Titel:

Young's modulus measurement of nickel silicide film on crystal silicon by a surface profiler

Beteiligte:

Qin, M. (Autor:in) / Poon, V. M. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 19 ; 2243-2246

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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