Determination of thicknesses and interface roughnesses of GaAs-based and InAs/AlSb-based heterostructures by X-ray reflectometry: Fid-Bau Portal

Determination of thicknesses and interface roughnesses of GaAs-based and InAs/AlSb-based heterostructures by X-ray reflectometry

Durand, O. / Berger, V. / Bisaro, R. / Bouchier, A. / De Rossi, A. / Marcadet, X. / Prevot, I.

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Titel:

Determination of thicknesses and interface roughnesses of GaAs-based and InAs/AlSb-based heterostructures by X-ray reflectometry

Beteiligte:

Durand, O. (Autor:in) / Berger, V. (Autor:in) / Bisaro, R. (Autor:in) / Bouchier, A. (Autor:in) / De Rossi, A. (Autor:in) / Marcadet, X. (Autor:in) / Prevot, I. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 327-330

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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