Effects of oxygen coimplantation on the formation of donor centers in erbium-implanted silicon: Fid-Bau Portal

Effects of oxygen coimplantation on the formation of donor centers in erbium-implanted silicon

Emtsev Jr, V. V. / Poloskin, D. S. / Shek, E. I. / Sobolev, N. A. / Kimerling, L. C.

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Titel:

Effects of oxygen coimplantation on the formation of donor centers in erbium-implanted silicon

Beteiligte:

Emtsev Jr, V. V. (Autor:in) / Poloskin, D. S. (Autor:in) / Shek, E. I. (Autor:in) / Sobolev, N. A. (Autor:in) / Kimerling, L. C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 81 ; 74 - 76

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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