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Donor Centers in Er-Implanted Silicon

Emtsev, V. V. / Andreev, B. A. / Poloskin, D. S. / Sobolev, N. A. / Shek, E. I.

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Titel:

Donor Centers in Er-Implanted Silicon

Beteiligte:

Emtsev, V. V. (Autor:in) / Andreev, B. A. (Autor:in) / Poloskin, D. S. (Autor:in) / Sobolev, N. A. (Autor:in) / Shek, E. I. (Autor:in) / Davies, G. / Nazare, M. H.

Erschienen in:

Defects in Semiconductors ICDS-19 ; 1515-1520

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 258/263

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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