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Study of deep silicon etching for micro-gyroscope fabrication

Fu, L. / Miao, J. M. / Li, X. X. / Lin, R. M.

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Titel:

Study of deep silicon etching for micro-gyroscope fabrication

Beteiligte:

Fu, L. (Autor:in) / Miao, J. M. (Autor:in) / Li, X. X. (Autor:in) / Lin, R. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 177 ; 78-84

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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