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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Metalorganic chemical vapor deposition of titanium oxide for microelectronics applications

    Beteiligte:

    Vydianathan, K. (Autor:in) / Nuesca, G. (Autor:in) / Peterson, G. (Autor:in) / Eisenbraun, E. T. (Autor:in) / Kaloyeros, A. E. (Autor:in) / Sullivan, J. J. (Autor:in) / Han, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 1838-1849

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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