Self-organized technology of anisotropic etching of semiconductors for optoelectronics application: Fid-Bau Portal

Self-organized technology of anisotropic etching of semiconductors for optoelectronics application

Dmitruk, N. L. / Borkovskaya, O. Y. / Mayeva, O. I. / Kolbasov, G. Y. / Mamontova, I. B.

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Titel:

Self-organized technology of anisotropic etching of semiconductors for optoelectronics application

Beteiligte:

Dmitruk, N. L. (Autor:in) / Borkovskaya, O. Y. (Autor:in) / Mayeva, O. I. (Autor:in) / Kolbasov, G. Y. (Autor:in) / Mamontova, I. B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 88 ; 277 - 281

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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