Structural characterization of highly boron doped SiGe/Si heterostructures: Fid-Bau Portal

Structural characterization of highly boron doped SiGe/Si heterostructures

Woitok, J. F. / Visser, C. C. / Scholtes, T. L.

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Titel:

Structural characterization of highly boron doped SiGe/Si heterostructures

Beteiligte:

Woitok, J. F. (Autor:in) / Visser, C. C. (Autor:in) / Scholtes, T. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 216 - 220

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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