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Nitrogen effects on crystallization kinetics of amorphous TiO~xN~y thin films

Hukari, K. / Dannenberg, R. / Stach, E. A.

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Titel:

Nitrogen effects on crystallization kinetics of amorphous TiO~xN~y thin films

Beteiligte:

Hukari, K. (Autor:in) / Dannenberg, R. (Autor:in) / Stach, E. A. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 17 ; 550-555

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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