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AlCl3-induced crystallization of amorphous silicon thin films

Qi, J. / He, D.

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Titel:

AlCl3-induced crystallization of amorphous silicon thin films

Beteiligte:

Qi, J. (Autor:in) / He, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 2605-2608

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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