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Local electrical characterization of SOI wafers by scanning probe microscopy

Ishizuka, Y. / Uchihashi, T. / Yoshida, H. / Kishino, S.

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Titel:

Local electrical characterization of SOI wafers by scanning probe microscopy

Beteiligte:

Ishizuka, Y. (Autor:in) / Uchihashi, T. (Autor:in) / Yoshida, H. (Autor:in) / Kishino, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 91-92 ; 156 - 159

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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