Structural defects and dislocation-related photoluminescence in erbium-implanted silicon: Fid-Bau Portal

Structural defects and dislocation-related photoluminescence in erbium-implanted silicon

Sobolev, N. A. / Emel'yanov, A. M. / Shek, E. I. / Sakharov, V. I. / Serenkov, I. T. / Nikolaev, Y. A. / Vdovin, V. I. / Yugova, T. G. / Makovijchuk, M. I. / Parshin, E. O.

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Sobolev, N. A. / Emel'yanov, A. M. / Shek, E. I. / Sakharov, V. I. / Serenkov, I. T. / Nikolaev, Y. A. / Vdovin, V. I. / Yugova, T. G. / Makovijchuk, M. I. / Parshin, E. O.

Structural defects and dislocation-related photoluminescence in erbium-implanted silicon

Sobolev, N. A. / Emel'yanov, A. M. / Shek, E. I. / Sakharov, V. I. / Serenkov, I. T. / Nikolaev, Y. A. / Vdovin, V. I. / Yugova, T. G. / Makovijchuk, M. I. / Parshin, E. O.

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Titel:

Structural defects and dislocation-related photoluminescence in erbium-implanted silicon

Beteiligte:

Sobolev, N. A. (Autor:in) / Emel'yanov, A. M. (Autor:in) / Shek, E. I. (Autor:in) / Sakharov, V. I. (Autor:in) / Serenkov, I. T. (Autor:in) / Nikolaev, Y. A. (Autor:in) / Vdovin, V. I. (Autor:in) / Yugova, T. G. (Autor:in) / Makovijchuk, M. I. (Autor:in) / Parshin, E. O. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 91-92 ; 167 - 169

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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