Characterization of 3C-SiC epilayers grown on 6H-SiC substrates by vacuum sublimation: Fid-Bau Portal

Characterization of 3C-SiC epilayers grown on 6H-SiC substrates by vacuum sublimation

Savkina, N. / Tregubova, A. / Scheglov, M. / Solov'ev, V. / Volkova, A. / Lebedev, A.

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Titel:

Characterization of 3C-SiC epilayers grown on 6H-SiC substrates by vacuum sublimation

Beteiligte:

Savkina, N. (Autor:in) / Tregubova, A. (Autor:in) / Scheglov, M. (Autor:in) / Solov'ev, V. (Autor:in) / Volkova, A. (Autor:in) / Lebedev, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 91-92 ; 317 - 320

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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