Growth of Epitaxial (SiC)~x(AlN)~1~-~x Thin Films on 6H-SiC by Ion-Assisted Dual Magnetron Sputter Deposition: Fid-Bau Portal

Growth of Epitaxial (SiC)~x(AlN)~1~-~x Thin Films on 6H-SiC by Ion-Assisted Dual Magnetron Sputter Deposition

Tungasmita, S. / Persson, P. O. A. / Seppanen, T. / Hultman, L. / Birch, J.

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Titel:

Growth of Epitaxial (SiC)~x(AlN)~1~-~x Thin Films on 6H-SiC by Ion-Assisted Dual Magnetron Sputter Deposition

Beteiligte:

Tungasmita, S. (Autor:in) / Persson, P. O. A. (Autor:in) / Seppanen, T. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Birch, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 1481-1484

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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