Low-Energy-Ion-Assisted Reactive Sputter Deposition of Epitaxial AlN Thin Films on 6H-SiC: Fid-Bau Portal

Low-Energy-Ion-Assisted Reactive Sputter Deposition of Epitaxial AlN Thin Films on 6H-SiC

Tungasmita, S. / Persson, P. O. A. / Jarrendahl, K. / Hultman, L. / Birch, J.

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Titel:

Low-Energy-Ion-Assisted Reactive Sputter Deposition of Epitaxial AlN Thin Films on 6H-SiC

Beteiligte:

Tungasmita, S. (Autor:in) / Persson, P. O. A. (Autor:in) / Jarrendahl, K. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Birch, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 1519-1522

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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