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Hydrogen Incorporation into SiC Using Plasma-Hydrogenation

Koshka, Y. / Draper, W. A. / Lakshman, R. Y. / Scofield, J. / Saddow, S. E.

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Titel:

Hydrogen Incorporation into SiC Using Plasma-Hydrogenation

Beteiligte:

Koshka, Y. (Autor:in) / Draper, W. A. (Autor:in) / Lakshman, R. Y. (Autor:in) / Scofield, J. (Autor:in) / Saddow, S. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 569-572

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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