Evolution of step-terrace structure at Si-SiO2 interface in SIMOX substrate during annealing: Fid-Bau Portal

Evolution of step-terrace structure at Si-SiO2 interface in SIMOX substrate during annealing

Ishiyama, T. / Nagase, M. / Omura, Y.

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Titel:

Evolution of step-terrace structure at Si-SiO2 interface in SIMOX substrate during annealing

Beteiligte:

Ishiyama, T. (Autor:in) / Nagase, M. (Autor:in) / Omura, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 190 ; 16-19

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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